Nosotros no sabíamos cómo hacer una poderosa fuente de luz en esta parte del espectro antes, añadió Tillack, también director asociado del San Diego Escuela Jacobs de Ingeniería UC (De: http: //www.china-computer-accessories. com /compra-Ingeniero /) Ings Centro de Investigación en Energía. Podríamos estar abriendo nuevas vías para fuentes de luz avanzados. Tenemos que continuar nuestra investigación y empezar a mirar a otras aplicaciones posibles. Trabajo EUVL de Tillack fue apoyado por Cymer Inc.
y por la Universidad de California bajo el Programa de Investigación Cooperativa de la UC Industria-Universidad.