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Microingeniería y sistemas microelectromecánicos (MEMS)

itivos microconstruidos que convierten entre eléctricos y cualquier otra forma de energía y se basan principalmente en su estructura mecánica en tres dimensiones para su funcionamiento, de esta manera, microingeniería es un término muy amplio, ya que se puede esperar. No sólo cubre MEMS sino también la fabricación de IC y la microelectrónica más convencionales.

Como regla general, los dispositivos en los que la mayoría de las características (espacio o ancho de línea, altura de los escalones, etc.

) están en o por debajo de 100 μ m

cumplir las "dimensiones del orden de micrómetros" criterios. La definición de MEMS como transductores significa que el término se puede utilizar un poco más general que otras definiciones permitirían.

Por ejemplo, pantallas infrarrojas que utilizan estructuras suspendidas térmicamente aislar cada pixel ajuste perfectamente en esta definición como su la operación se basa en la estructura suspendida en tres dimensiones a pesar de que no existe ningún elemento mecánico en movimiento al dispositivo.

Lo hace, sin embargo, excluye dispositivos tales como sensores o fotodiodos de efecto Hall, que se basan principalmente en su (o químico) estructura eléctrica para su funcionamiento. También tiende a excluir láseres semiconductores Por razones similares, y componentes tales como transistores MOSFET de potencia que se forman por ataque químico ranuras en V en el sustrato de silicio también se excluyen ya que son dispositivos puramente eléctricos.


Una vez que uno está contento con el término microingeniería

, uno puede crear todas las subdisciplinas relevantes que uno requiere simplemente tomando el nombre de la disciplina convencional y añadiendo el prefijo micro a ella. Por lo tanto, tenemos la microfluídica, micromecánica, microlitografía, micromecanizado, etc., y, por supuesto, la microelectrónica.

Este comentario impertinente no significa que estas disciplinas son simplemente la disciplina macroescala con números más pequeños entrado en las ecuaciones.

En muchos casos esto se puede hacer, pero en otros esto puede causar resultados erróneos. Su objetivo es señalar que hay relativamente pocas sorpresas en la nomenclatura.

En este punto, vale la pena destacar la diferencia entre la ciencia y la ingeniería, ya que es de considerable importancia a la microengineer. Ciencia tiene como objetivo comprender el universo y construir un cuerpo de conocimiento que describe cómo funcio

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